| ステージ・本体 | 真鍮、黒色クロムメッキ |
|---|
| 型式 | ステージ面 | 移動ガイド | 移動量 |
ストローク (°/Rotation) |
質量 (g) |
回転位置変位能 | 平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 |
許容荷重 (N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TGOH-251 | 25×50 | アリ溝方式 | ±20° | 3.1 | 70 | 0.1 | 0.05 | 6' | 3' | 9.8 |
| TGOH-6 | 40×40 | アリ溝方式 | ±20° | 2.83 | 250 | 0.1 | 0.05 | 6' | 2' | 34.3 |
| TGOHN-3 | 60×60 | アリ溝方式 | ±20° | 1.03 | 1000 | 0.1 | 0.05 | 5' | 2' | 49 |
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