| ステージ・本体 | アルミニウム合金、アルマイト処理(黒) |
|---|
| 型式 | ステージ面 | 移動ガイド | 移動量 |
質量 (g) |
真直度 | ピッチング | ヨーイング | 平行度 | 移動平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 |
許容荷重 (N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAM-40SXY | 40×40 | V溝レールとクロスローラ方式 | ±6.5 | 300 | 0.003 | 40" | 25" | 0.05 | 0.02 | 0.01 | 0.003 | 14.7 |
| TAM-60SXY | 60×60 | V溝レールとクロスローラ方式 | ±6.5 | 600 | 0.003 | 25" | 15" | 0.05 | 0.02 | 0.01 | 0.003 | 58.8 |
| TAM-100SXY | 100×100 | V溝レールとクロスローラ方式 | ±12.5 | 1500 | 0.003 | 25" | 15" | 0.05 | 0.025 | 0.01 | 0.003 | 147 |
| TAM-120SXY | 120×120 | V溝レールとクロスローラ方式 | ±12.5 | 2500 | 0.004 | 25" | 15" | 0.05 | 0.03 | 0.01 | 0.003 | 176 |
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