| ステージ・本体 | 真鍮、黒色クロムメッキ |
|---|---|
| 下面スペーサ | アルミニウム合金、アルマイト処理（黒） |
| 型式 | ステージ面 |
移動 ガイド |
移動量 |
ストローク (mm/Rotation) |
質量 (g) |
真直度 | 平行度 | 表示分解能 | 位置分解能 |
許容荷重 (N) |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 粗動範囲 | 微動範囲 | 粗動範囲 | 微動範囲 | |||||||||
| TAR-60D | 38×60 | アリ溝方式 | ±15 | ±15 | 20 | 2.5 | 500 | 0.02 | 0.06 | 0.1 | 0.02 | 73.5 |
| TAR-80D | 38×80 | アリ溝方式 | ±25 | ±25 | 20 | 2.5 | 800 | 0.03 | 0.06 | 0.1 | 0.02 | 98 |
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