| ステージ | 真鍮、黒色クロムメッキ |
|---|---|
| 下面スペーサ | 真鍮、クロムメッキ |
| 型式 | ステージ面 |
移動 ガイド |
移動量 |
ストローク (mm/Rotation) |
質量 (g) |
真直度 | 平行度 |
表示 分解能 |
位置 分解能 |
許容荷重 (N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAR-2581 | 25×30 | アリ溝方式 | ±25 | 20 | 220 | 0.03 | 0.05 | 0.1 | 0.1 | 24.5 |
| TAR-25121 | 25×30 | アリ溝方式 | ±45 | 20 | 300 | 0.04 | 0.08 | 0.1 | 0.1 | 24.5 |
| TAR-25161 | 25×30 | アリ溝方式 | ±65 | 20 | 360 | 0.05 | 0.08 | 0.1 | 0.1 | 24.5 |
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