| 使用流体 | 空気・窒素 |
|---|---|
| 使用圧力 | −100～0kPa |
| 真空破壊圧力 | MAX.0.5MPa |
| 使用および周囲温度範囲 | 0～60℃（ただし凍結しないこと） |
| ろ過度 | 10μm |
| エレメント耐差圧 |
・ZFC10□、20□：0.15MPa ・ZFC05□：0.10MPa |
| 適用チューブ材質 | ナイロン、ソフトナイロン、ポリウレタン |
| 型式 | タイプ | ブラケットの有無 |
管接続口径 （適用チューブ外径） IN側、OUT側 |
推奨流量 (L/min(ANR)) |
内容量 (cm3) |
質量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ZFC100-06B | ミリサイズ | ブラケット付 | φ6 | 20 | 4.5 | 11.5 |
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