・製造機械回りのダスト除去
・チャンバー内残留物の吸引
・ULPAフィルター：0.12μm粉塵を99.9995%捕集します。
・クラス10用クリーナーは全機種グレーチングタイプの床用キャスターになっています。
・Mクラスダストとは、手に触れることは可能ですが、人が吸い込むと危険とされる粉塵です。シリコンチップ・アルミニウム・水晶のダスト・セラミック粉・プラチナ粉・マンガン粉・ニッケル粉です。