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产品名称: 日本トムソン(株) AM对准阶段模块形式
产品编号: SN1945313
产品类别: 工业配件 > 日本トムソン(株)
品牌: 日本トムソン(株)
日期: 2019-04-07
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服务热线: 15986675116
    ・アライメントステージモジュール形SA-Mは、角度調整機構をもったアライメントモジュールAMを同一平面上に配置した大形の精密位置決めテーブルです。
    ・XY方向の直線運動と、角度補正を行うことができ、特に角度補正は任意位置を回転中心に設定できるため、動作の自由度が高く、多彩な動作を実現しています。ステージとベースには大口径の中抜き構造が採用されているため、半導体・液晶関連製造装置及び検査装置などのアライメントステージに最適です。
    ・アライメントモジュールAMは精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合わせて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
    ・高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をすることなくアライメントステージを構成できます。

    特長
    ・多彩な動作を実現
    ・大形装置に最適
    ・高精度・高剛性・高信頼性
    ・中抜き構造
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