| ステージ | 真鍮、黒色クロムメッキ |
|---|---|
| 本体 |
真鍮 TAS-30：塗装(シルバー) TAS-60：塗装(黒) |
| 下面スペーサ | アルミニウム合金、アルマイト処理(黒) |
| 型式 | ステージ面 |
移動 ガイド |
移動量 | ねじピッチ |
質量 (g) |
真直度 | 平行度 |
位置 分解能 |
許容荷重 (N) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TAS-30 | 24×30 | アリ溝方式 | ±4 | 0.5 | 200 | 0.02 | 0.05 | 0.01 | 34.3 |
| TAS-60 | 20×60 | アリ溝方式 | ±7.5 | 0.5 | 500 | 0.02 | 0.05 | 0.01 | 73.5 |
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