| 適用流体 |
乾燥空気、N2 （空気の品質等級はJIS B 8392-1 1.1.2～1.6.2：2003） |
|---|---|
| 繰返し精度 | ±2％F.S.以下 |
| 圧力特性（0kPa基準） |
±2％F.S.以下（0～300kPa） ±5％F.S.以下（−70～0kPa） |
| 温度特性（25℃基準） |
±2％F.S.以下（15～35℃） ±5％F.S.以下（0～50℃） |
| 定格圧力範囲 | −70kPa～300kPa |
| 使用圧力範囲 | −100kPa～400kPa |
| 耐圧力 | 500kPa |
| アナログ出力（ノンリニア出力） | 出力電圧：1～5V、出力インピーダンス：約1kΩ |
| 応答時間 | 5ms以下（90％応答） |
| 電源電圧 | DC12～24V±10％、リップル（p-p）10％以下（逆接保護付） |
| 型式 |
定格流量範囲 (流量レンジ) (L/min) |
|---|---|
| PFMV505-1 | 0～0.5 |
| PFMV510-1 | 0～1 |
| PFMV530-1 | 0～3 |
| PFMV505F-1 | −0.5～0.5 |
| PFMV510F-1 | −1～1 |
| PFMV530F-1 | −3～3 |
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