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产品名称: (株)妙徳 流量LTU系列搬运类型
产品编号: SN1984110
产品类别: 工业配件 > (株)妙徳
品牌: (株)妙徳
日期: 2019-08-01
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服务热线: 15986675116
    ・妙徳独自の設計。妙徳のエアテクノロジーで高精度浮上を実現。
    ・安定した浮上精度。露光や検査プロセスにガラス基板を送り込むための安定した浮上特性を実現。

    共通仕様

    型式 LTU-050CE:W100mm×L500mm×H45.8mm
    LTU-075CE:W100mm×L750mm×H45.8mm
    LTU-100CE:W100mm×L1000mm×H45.8mm
    使用流体 空気(非腐食、不燃性気体)
    周囲温度 0~+50℃(但し凍結無き事)
    給油 不可
    定格空気圧範囲 30~400kPa
    平面度 60μm
    平行度 80μm
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