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产品名称: (株)井口機工製作所 ILS定位舞台(清洁房间用)
产品编号: SN1971452
产品类别: 工业配件 > (株)井口機工製作所
品牌: (株)井口機工製作所
日期: 2019-07-19
业务QQ:
服务热线: 15986675116
    各工程におけるバッファー部でガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。
    G7、G8級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、ボールベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
    位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し次のカセットを待ちます。
    また、可動部をホールドさせることができるSタイプもご用意しております。
    型式 タイプ 耐荷重
    (kg)
    可動距離
    (mm)
    自重
    (kg)
    推奨使用エアー圧
    (MPa)
    ILS-150 フリータイプ 150 ±15 1.5 -
    ILS-150S ストッパータイプ 150 ±15 1.8 0.20
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