| ガス種類 |
【MQV9005・MAV9020】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar) 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar),炭酸ガス(CO2),都市ガス13A(LNGベース,45/46MJ/m3),メタン100％(CH4),プロパン100％(C3H8),ブタン100％(C4H10) 【MQV0100】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar),炭酸ガス(CO2) |
|---|---|
| 応答性 |
【MQV9005・MAV9020】 設定±2％FS以内に0.5s(TYP.) 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050・MQV0100】 設定±2％FS以内に0.3s(TYP.) |
| 精度 |
【MQV9005・MAV9020】 ±1％FS 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050】 標準品：±0.5％FS(0％FS≦Q≦50％FS)、±1％FS(50％FS 【MQV0100】 ±1％FS(0％FS≦Q≦80％FS)、±2％FS(80％FS 標準温度、標準札にて（Q=流量） |
| 許容入口圧 | 0.5MPa(gauge) |
| 定格電圧 | DC24V,消費電流300mA Max |
| 型式 | 品名 | 標準フルスケール流量 | モデル | 接続 | ガス種 | 標準差圧 | 動作最大差圧 | 質量 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MQV9200BSRN000000 | マスフローコントローラ | 200mL/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 200kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV9500BSRN000000 | マスフローコントローラ | 0.500L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 200kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV0002BSRN000000 | マスフローコントローラ | 2.00L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 200kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV0005BSRN000000 | マスフローコントローラ | 5.00L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 150kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV0020BSRN000000 | マスフローコントローラ | 20.0L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 200kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV0050BSRN000000 | マスフローコントローラ | 50.0L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 200kPa | 300kPa以下 | 約1.2�s | - |
| MQV0100BSRN000000 | マスフローコントローラ | 100.0L/min(standard) | 一体形表示付モデル | 1/4Rc | 標準対応ガス | 300kPa | 400kPa以下 | 約1.2�s | - |
| 81446681-001 | 専用コネクタ付ケーブル | - | - | - | - | - | - | - | 2m |
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